VBL装置予約ページ

※ 2022年1月 装置予約サイトをリニューアルしました

VBL No.
     ARIM No.
装置名・メーカー・型番 設置場所 料金
yen/hour
写真
1
227 電界放出型走査電子顕微鏡・日立・S5200
1F
102
1,600
228
電界放出型走査電子顕微鏡・日立・S4300 

1F
106

 1,800
3
-

ディジタルマイクロスコープ・ナノシステム㈱・Focus-3D

1F
CR2
0
4
226
RIEエッチング装置・サムコ・RIE-10NR
 1F
CR1
1,100
5
229 ECRスパッタ装置・アフティ・AFTEX-3420
 1F
CR1
1,100
6
223 コンタクトアライナ・共和理研・K-310P100S
※フォトリソ
1F
CR2 
900
7 224 EB蒸着装置・アルバック・EBX-10D
 1F
CR1
1,100
V9 - 原子間力顕微鏡・Veeco・ナノスコープⅢa 2F
204
500 
V10 - 液中原子間力顕微鏡・Agilent・5500SPM
2F
204
500 
V11 - アッシャー・ヤマト科学 1F
CR1
V12 - 顕微ラマン分光器・RENISHAW・inVia Reflex

2F
203

1,300 
V13 - X線回折装置・リガク・SmartLab. 2F
203 
 1,300
14 225 ICPエッチング装置・アルバック・CE-3100I 1F
CR1 
1,700 
15 222 レーザーリソグラフィ装置・ハイデルベルグ・DWL66FS 1F
CR2 
1,200 
V16 - 超高真空蒸着装置・シンク・ND-S4401 1F
102 
500 
V17 - 大気下イオン化ポテンシャル装置・理研計器・AC-2 2F
203 
900
18 230 段差計・アルバック・Dektak150 1F
CR2 
1,000
V19 - 非接触膜厚測定装置・NanoSpec 1F
CR2 
V20 - 紫外線オゾンクリーナー 1F
CR2 
V21 - 有機薄膜作製装置 2F
212 
V22 - 白色干渉顕微鏡・ニコン・BW-S507 2F
204 
 100
V23 - イオンコーター  1F
106
V24 - オスミウムコーター  1F
106
V25  - 段差計・小坂研究所・ET200A 1F
CR2
1,000
- - コンタクトアライナ・ミカサ・MA-10B 1F
CR2
900










2018年4月1日より、顕微ラマン分光器、X線回折装置、抵抗加熱蒸着装置の料金を改定しました
2018年4月1日より、クリーンルーム利用料を徴収することとしました。但し、ナノプラットフォーム装置やVBL装置を予約して使用する方は、装置利用料金に含まれていますので別途徴収することはありません。予約装置以外の設備を利用する方は前室にある利用者ノートにご記入ください。後日徴収します

 
 
 
 
 

SEMがウイルスに感染すれば多く方に迷惑をかけることになりますので、USBメモリは必ずウイルスチェックをしたものを使用してください。 VBL1階にDELLのパソコンがありますので、ウイルスチックに使って下さい(2012.10.10)
EB蒸着装置の修理が完了しました(20210317)
レーザーリソグラフィの圧縮空気ですが、次の利用者がいない場合はバルブを閉めてください。PCと描画装置の電気的接続不良のときは下記の装置説明書のDWL66FS不具合とその解決方法を参照して下さい
ECRスッパタ装置のメンテナンスを行い、Siターゲットを新品に取替えましたので、膜リークの問題はほぼ解消しました(2011.9.14)

 
 
 
 
 

装置を使用したいときは、まず装置運用責任者に装置利用が可能か問合せください。運用責任者の許可を得た後、利用申請書をVBL事務室に提出しVBL長の承認を得てください。また、利用者カードの申請書、実験装置利用申請書をVBL事務室に提出して下さい(運用責任者はVBL事務室に問合せください)。
装置の利用について、平成18年10月1日より新たな利用システムで運用することになりました。HPの予約時間で使用料を負担していただきますので、予約時間を間違えないようお願いします。予約の変更は前日までとしますが、他のユーザの迷惑にならないよう留意して下さい。当日、予約時間を大きく下回る時間で装置使用が終わった場合で時間変更を希望するときは、氏名、研究室、利用時間帯、変更理由をEmail(office@vbl.nagoya-u.ac.jp)で送って下さい。装置運用責任者の使用許可を得て下さい。許可を得た利用者にはパスワードをお知らせします。
実験装置取扱い講習会等に参加して装置の取扱いを習得して下さい。
SEM5200はSEM講習会参加者以外は使用できません。
アッシャーとUVドライクリーナーは、しばらくは無料とします。予約なして使用可能ですが、事前予約の方を優先とします。






実験施設を使用する人は、VBL安全講習会に参加して下さい。また、クリーンルームを使用する人はクリーンルーム講習会に参加して使用方法を習得して下さい。
クリーンルーム利用者は入退出確認板へのマグネット表示を行って下さい。
使ったものは元に戻すなど室内の整理整頓をお願いします。
作業後は掃除するなど、クリーンルーム環境の維持に努めて下さい。
空調機器、照明の切り忘れの無いよう注意してください。
夕方以降クリーンルーム内に人がいないときは空調機の昼・夜切替を行って下さい
ドラフト内に空瓶を放置しないよう注意して下さい。
アセトンの保管庫を前室に設置しました。

 
 
 
 
 

EB蒸着装置
電子顕微鏡S4300
段差計
ICPエッチング装置
RIEエッチング装置
ECRスパッタ成膜装置
レーザーリソグラフィ (DWL66FS)
DWL66FS不具合とその解決方法(PCと描画装置との電気的接続不良)
DWL66FSの直描条件について
オージェマイクロプローブ
アッシング装置
膜厚計 CRTM-6000G マテリアル設定 簡易版
大気中光電子分光装置 AC-2 簡易版

 
 
 
 
 

AFM
Dektak150

 
 
 
 
 

SEMサーバ(108):ルータの下に入れましたので外部から見ることができません。S4300,S5200,AFM,102DELLも同じルータ下にしましたのでその間のファイル転送はできると思います。102DELLもファイル転送にお使いください。(2007.1.10)。
VBL1階無線LAN:WEPを更新しました。1階開発室、クリーンルームで利用したい人は事務室へ問い合わせください(2007.1.10)。
 

装置責任者
           
Chong Heajong (cheong.heajeong「at」imass.nagoya-u.ac.jp)