主要装置・設備

Main Equipment and Clean Rooms

名大VBLは、分子・原子レベルにて制御された構造を作る装置および計測する装置、設計シミュレーションシステムを設置し、次世代のナノエレクトロニクスデバイスに係る「高次機能ナノプロセス」の研究および開発支援を行っております。以下に、主要装置を紹介します。

電子線援用ナノプロセスシステム

このシステムは、次世代の高次機能ナノエレクトロニクスデバイスを実現するための主要技術である、高次機能ナノプロセス技術を開発するために用いられます。このシステムは、

(1) 電子線援用エッチング装置

(2) 分子線結晶成長装置

の二つの主要装置からなり、これら二つの装置は超高真空トンネルにより相互に接続されています。

 電子線援用エッチング装置は、直径を2nm以下までに絞った電子線と反応性ガスにより、超高真空中で10nm以下の微細なパタンを形成することが可能です。

 分子線結晶成長装置は、超高真空の成長室・加熱処理室・試料導入室とにより構成されており、品質の高い1nm以下の極薄膜を成長することが可能です。

二つの装置が真空で接続されているため、ナノスケールの微細パタンの形成と薄膜成長を、大気に曝すことなく超高真空中で繰り返すことが可能であり、高品質のナノ構造の実現が可能です。

ナノ構造設計システム

次世代の機能材料の創製・開発のためには、分子をナノスケールで精密に制御することが必要である。この目的のためには、予めコンピュータで分子を構築し、分子レベルでの構造や物性のシミュレーションに加えて、これら分子の集合体をナノオーダーで制御するために分子間の相互作用もシミュレーションする必要がある。そのために役立つのが、分子設計を支援する3次元グラフィックスシステムである。

マテリアルサイエンス分野には、ポリマー・有機材料・触媒・無機材料・電子・磁性材料の設計シミュレーションはもとより分子動力学や統計力学などの計算もカバーした、DASSAULT SYSTEMES社のBioVia Material Studioを、ライフサイエンス分野には、生体化学系モデリング/シミュレーションパッケージのBioVia Discovery Studioを提供できる。

これらシステムを学内利用で利用することができます(利用申請書様式5)。また、大学院生は「最先端理工学実験」のCAD分野によって、外部講師からチュートリアルを受ける教育プログラムもあります。研究に是非ご活用下さい。

最先端理工学実験へ

クリーンルーム

・ナノプロセス室(クリーンルーム2): クラス1,000
・フロンティアデバイス室(クリーンルーム1): クラス1,0000

純水供給設備  18MΩ以上
冷却水設備    熱源ヒートポンプチラー
ガス設備      水素、酸素、アルゴン、ヘリウム、一般ガス
             圧縮空気、真空、液化窒素

ページの先頭へ

その他装置

反応性イオンエッチング装置
フォトリソグラフィ装置
蒸着装置
ECRスパッタ装置
オージェマイクロプローブ装置(AES)
段差計
走査電子線顕微鏡(SEM)
超高真空走査型トンネル顕微鏡
極低温プローバー
プローブ顕微鏡
カンタル・マッフル炉
材料設計シミュレータ
高精度イオン・ラジカル制御エッチングシステム(XPS)

関連装置

X線回折装置
量子機能材料プロセス装置

ページの先頭へ

申請書類一覧

装置等の利用申し込みは、
① ナノテクノロジープラットフォーム関連装置群を利用される場合:様式6
② それ以外の装置を利用する場合:様式1および様式5-1
③ ナノ構造設計システム(分子シミュレーション)を利用する場合:様式1, 様式5-1および様式5-2
をVBL事務室に提出してください。
(VBL協力研究室は、様式1を必ず毎年提出してください。)
利用申請書(様式1):Word fileLinkIconPDF fileLinkIcon
VBL棟入退管理シート(様式4):Excel fileLinkIcon
実験装置等利用申請書(様式5-1および5-2):Word fileLinkIconPDF fileLinkIcon
名大微細加工プラットフォーム利用登録申請書(様式6):Word fileLinkIconPDF fileLinkIcon
オープンフロア等の利用申込み
オープンフロア利用申請書(様式3):Word fileLinkIconPDF fileLinkIcon

ページの先頭へ

ベンチャービジネス特論I

2018年度は4月12日より開講

2018年度スケジュールはこちらLinkIcon

最先端理工学実験

7月に募集開始!

概要はこちらLinkIcon

ベンチャービジネス特論II

2017年度後期・木曜4限(7・8限)

授業内容LinkIcon

最先端理工学特論

2018年11月21-22日開講予定!

2018年度予定を随時更新LinkIcon